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Edwards：真空泵大化性能
日期：2024-12-21 04:21
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摘要：
克勞利--(BUSINESS WIRE)--(商業資訊)--Edwards Limited是一家全球的真空設備和尾氣處理系統制造商及相關增值服務提供商，該公司近日推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵 (TMP)。這款產品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池板制造商節省更多成本。
Edwards TMP產品營銷經理Shinichi Yoshino 表示：“STP-iXA4506渦輪泵是改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwards新的轉子設計和成熟且高度的iXA系列機載控制器，使容許的通過的氣量大化，從而使高流量過程所需的渦輪泵數量減至，尤其是在太陽能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線纜和獨立控制器機架的需求，因而也節省了成本，體積緊湊易于在應用中快速安裝。此外，就像我們的磁浮式渦輪泵一樣，無需機械軸承的特性免除了定期維護的成本。”
這款渦輪泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量（高達4300 sccm N2）結合其抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506適用于許多不同的大流量、高流動性應用，包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設計包括一個密封的電子模組，以在嚴苛的工廠環境中實現穩健、的操作。需要時還可增加一套加熱系統，以減少來自工藝過程中副產物的沉積物和微粒的堆積。
Edwards TMP產品營銷經理Shinichi Yoshino 表示：“STP-iXA4506渦輪泵是改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwards新的轉子設計和成熟且高度的iXA系列機載控制器，使容許的通過的氣量大化，從而使高流量過程所需的渦輪泵數量減至，尤其是在太陽能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線纜和獨立控制器機架的需求，因而也節省了成本，體積緊湊易于在應用中快速安裝。此外，就像我們的磁浮式渦輪泵一樣，無需機械軸承的特性免除了定期維護的成本。”
這款渦輪泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量（高達4300 sccm N2）結合其抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506適用于許多不同的大流量、高流動性應用，包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設計包括一個密封的電子模組，以在嚴苛的工廠環境中實現穩健、的操作。需要時還可增加一套加熱系統，以減少來自工藝過程中副產物的沉積物和微粒的堆積。
