• 節能50%以上
• 結構緊湊、高抽速
• 清潔制成的理想選擇

A 100 L 緊湊型干泵是專為半導體生產設備靈活集成的要求而量身定制的一款 產品。這款干多級羅茨泵是加載互鎖真空室(load-lock chambers)、晶片傳送室(transfer chambers )和其他無腐蝕應用(noncorrosive applications)的清潔制成環境中的理想選擇。

盡管這款干泵結構緊湊體積小巧，但她依然能夠帶來的抽速和高速響 應的停機時間。現今，A 100 L干泵已經應用于全球的半導體工廠，并且適用于無塵室工作 事。

在A 100 L基礎上的新款A 100 L ES（ES=Energy Saving）系列經過測試能夠節能50%以上，在低壓范圍內其抽速表現依舊 。并且比A 100 L具有更低的極限壓力和噪音。

一個典型的案例：300毫米制成的半導體工廠在加載互鎖真空室（loadlock) 裝備1300臺泵，一年能夠節約10GWh以上的能源，相當于大約36萬 歐元，5.1噸的二氧化碳排放。

此外為了節約能耗，A 100 L ES的極限壓力降低到了7x10^-4 mbar (hPa)。這了在要求低壓環境下提高抽氣速度新的潛在應用。同時泵的 噪音從58 dB (A)下降到了55 dB (A)。A 100 L ES無疑填補了我們在light
duty process中產品節能的要求，就好比我們在medium duty process中A3P系列和harsh duty process中A3H系列一樣都能提供的節能產品。